微机电工程材料、微机电器件与系统、微机械学、微纳米测量与测试技术、微细加工技术、现代传感技术、精密工程制造基础和光存储技术等。

开设微机电系统工程的院校推荐：

1.东莞理工学院

东莞理工学院是东莞第一所普通本科院校，省市共建，以市为主，诺贝尔物理学奖获得者杨振宁博士任名誉校长。学校于1990年筹办，1992年4月经原国家教委批准成立，2002年3月经教育部批准变更为本科全日制普通高等院校，2006年5月获批为学士学位授予单位，2008年5月通过教育部本科教学工作水平评估，2010年6月与清华大学等61所高校一起被批准为教育部第一批“卓越工程师教育培养计划”实施高校，20...

2.西北工业大学

西北工业大学（简称西工大）坐落于陕西西安，是一所以发展航空、航天、航海等领域人才培养和科学研究为特色的国家“双一流”建设高校，隶属于工业和信息化部。学校1960年被国务院确定为全国重点大学，“七五”“八五”均被国务院列为国家重点建设高校之一，1995年首批进入“211工程”，2001年进入“985工程”，2017年进入“一流大学”建设高校（A类）行列，是“卓越大学联盟”成员高校，是“一带一路”航天...