光刻机分类按曝光方式主要分三类。
接触式曝光，掩膜板直接与光刻胶层接触。曝光出来的图形与掩膜板上的图形分辨率相当，设备简单。接近式曝光，掩膜板与光刻胶基底层保留一个微小的缝隙（Gap），Gap大约为0～200μm。投影式曝光，在掩膜板与光刻胶之间使用光学系统聚集光实现曝光。一般掩膜板的尺寸会以需要转移图形的4倍制作。如果按工序分又分为三种，掩模光刻机、蚀刻光刻机和LED光刻机。
问光刻机九大类
问题描述：
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